陣列探測器紫外增強和軟X射線鍍膜
譜摩科技依托多年鍍膜經驗，推出了芯片鍍膜服務，即在CCD和CMOS探測器表面鍍覆一層熒光轉換膜（如Lumogen、GdO?S）。該熒光膜能夠將紫外或軟X射線轉換為可見光，實現探測器的紫外信號高效接收。
產品概述
- 普通的陣列探測器（如前照式CCD和CMOS）的敏感硅吸收層通常覆蓋有較厚的二氧化硅、氮化硅及金屬層，這些覆蓋層在紫外波段會引起強烈的反射、折射和干涉效應，導致紫外探測效率接近于零。
而消費級背照式CCD和CMOS探測器得表面通常鍍有對紫外光具有強吸收作用的高折射率（high?K）膜，并輔以可見光抗反射膜。后者對紫外光會產生明顯的干涉效應，導致消費級的陣列探測器雖然可見光的量子效率高達90%，也無法有效測量紫外波段的信號。 - 如果采用半導體工藝實現陣列探測器對紫外或軟X射線的響應，通常需要定制專用芯片，而流片工藝的高額費用會大幅增加整體成本。針對這一問題，譜摩科技依托多年鍍膜經驗，推出了芯片鍍膜服務，即在CCD和CMOS探測器表面鍍覆一層熒光轉換膜（如Lumogen、GdO?S）。該熒光膜能夠將紫外或軟X射線轉換為可見光，實現探測器的紫外信號高效接收。
- 經過工藝的不斷優化，譜摩科技的 Lumogen 紫外增強膜現已覆蓋 180?nm 至 1100?nm 的光譜檢測范圍，在紫外波段的量子效率可達 22%，且最低響應波長可達 50?nm。
- 鍍膜后的消費級CMOS探測器不僅滿足 ICP-OES、LIBS、OES 等原子光譜分析行業的需求，也可以應用于半導體領域中193nm波長相關的檢測。